지난해 불산 누출사고로 큰 피해를 입은 경북 구미에서 또다시 불산이 포함 된 화학물질이 누출됐다.
3일 경북경찰청 등에 따르면 2일 밤 8시34분께 반도체 웨이퍼(wafer) 제조업체인 LG실트론 구미 2공장에서 혼산(混酸) 소량이 누출됐다.
혼산은 질산과 불산, 초산이 섞인 액체다. 반도체 웨이퍼 제조 후공정 중 하나인 에칭(Etching)과정에 사용된다.
3일 오후 한시재 사업부장은 출입기자 브리핑을 통해 “사고 당일 오전 10시30분께 혼산을 필터링하는 용기 덮개에 미세 균열을 확인한 뒤 오후 6시부터 30여분 사이에 부품을 교체했다”며 “이후 테스트 과정에서 30~60ℓ가량의 양이 누출됐다”고 말했다.
그는 “사고 당시 현장 및 연관 생산라인엔 11명의 작업자가 근무하고 있었지만 차단 안전막과 신속대피로 인명 피해는 없었다”며 “자체 방제팀이 누출 5분여 뒤부터 중화제로 중화시킨 뒤 흡착 제거하는 방법으로 방제작업을 벌여 3일 새벽 4시30분에 방제를 완료했다”고 설명했다.
이번에 유출된 혼산은 부피 기준으로 질산 43%, 불산 9.8%, 초산 19.6% 함유된 액으로 외부 전문업체가 제조해 LG실크론에 납품된 것이다.
경찰은 공장 관계자 등을 상대로 정확한 누출 경위와 피해를 조사 중이다.